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高温无氧无尘烘箱主要应用于半导体、新材料涂胶镀膜影印前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂胶后的软烘焙Soft baking),曝光、显影后的坚膜烘( Hard baking),PI聚酷酷胺等胶水的固化工艺,化、酸、玻璃等材料的洁净、防氧化烘烤,亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、医药、光学镀膜、精密元件干燥等生产工艺以及研发机构。本设备内部采用强制对流风道,加热控制系统,配合无氧充氮控制系统及在线式氧含量分析系统,结合耐高温高效过滤HEPA(选配),确保工作室内达到无氧无尘的洁净防氧化环境。
产品特点:
●外壳:采用1.2mm厚优质冷轧钢板喷塑处理,表面平整、耐刮伤,易清洁。
●内胆:采用2.0~2.5mm厚SUS304# 镜面不锈钢材质经满焊处理,箱内光亮洁净,密闭性极佳。
●管路:内部管路采用无缝不锈钢管件焊接处理,确保管路无漏气渗透现象。
●氮气控制:双流量计节氮系统,双延时充氮控制,无氧、低氧环境下最大节省氮气消耗量。
●保温层:内部采用硅酸铝岩棉保温材料,防火、阻燃,采用人工填充,厚度80mm
●温控器:采用日本公海贵宾会PID温度控制器,控温精准,具传感器断线报警、超温保护,偏差修正等功能。
●温度传感器:采用进口PT100铂热电阻(可选K型热电偶),精度高,误差小。
●电热发生器:采用不锈钢黑热发生器,寿命长,安全稳定,连续烘烤寿命>10000小时
●鼓风装置:采用大功率耐高温长轴马达,大口径不锈钢涡轮扇叶,可在高温环境下长期稳定工作
●层架:内部蛇腹层架结构,层板高度可任意调节,自由分配箱内空间
●把手铰链:采用锌合金合页铰链,防爆安全把手,坚固耐用,易开易关,松紧可调。
●密封胶条:采用改性硅橡胶材质,可在高温环境下长期连续使用,耐老化,密封性极佳
●脚轮:配置4只高承重公海贵宾会活动轮,前轮带刹车,方便移动。
可选组件:
●程序升温:温度控制系统可升级为可编程多段曲线升温。
●门控系统:电磁锁确保烘箱加热过程箱门密闭
●风门调节装置:机械旋钮式手动风门调节/自动控制二者选一。
●氮气净化系统:微型油水尘埃过滤组mini fulter,可对氮气油水、0.1μm颗粒进行过滤
●温度监测联网:可安装温度记录仪,监测、记录、打印、联网
●氧含量分析仪:可加配氧含量测试仪,记录打印
设备型号 | FO(C)-2 | FO(C)-3 | FO (C)-4 | FO(C)-5 | FO ( C)-2D | FO (C)-3D |
控温范围 | 50~250°C(最高可订制500°C) | |||||
温度分辨率 | 0.1℃ | |||||
温度波动度 | ±0.5°C | |||||
温度均匀度 | ±1.5%(200C恒温空载测试数据) | |||||
氧含量 | <10ppm | |||||
洁净度(选配) | 选配 | |||||
内寸(mm)W*D*H | 450*400*500 | 600*500*900 | 800*600*1000 | 800*600*1000 | (600*600*500)*2箱 | (400*400*400)*3箱 |
层架 | 2PCS | 4PCS | ||||
电源 | AC380V50HZ | |||||
功率 | 7KW | 11KW | 16KW | 18KW | 16KW | 18KW |
定时范围 | 0~999H/M/S | |||||
送风方式 | 单向水平送风 | |||||
升温时间 | RT~250C约25min | |||||
控温方式 | AD+PID | |||||
结构设计 | 单门,控制柜位于顶部 | 多仓,控制柜位于侧面 | ||||
内部材料 | SUS304# | |||||
外部材质 | 钢板烤漆/拉丝或镜面不锈钢 | |||||
安全保护措施 | 1.接地保护 2.过载保护 3.相序保护 4.超温保护 5.独立限温保护 | |||||
选配 | 7寸触摸屏HMI人机界面控制器(带历史曲线,USB转存储功能,配套PC端软件及联网端口);电磁门禁系统温度校准,多点温度监控系统,非标订制服务 |